项目背景
该LED芯片制造企业位于华东地区,年产LED外延片及芯片超过500万片。随着产能扩大,原有废水处理设施无法满足排放标准,急需升级改造。
废水成分及来源
废水主要来自芯片制造的三个环节:
研磨废水
:含硅粉、氧化铝等悬浮物,COD约800mg/L
蚀刻废水
:含氟化物(浓度达200mg/L)、氨氮及重金属离子
清洗废水
:含有机溶剂(异丙醇等)、表面活性剂,pH波动大
处理工艺流程
采用"分类收集+物化生化组合"工艺:
预处理单元
:
研磨废水通过混凝沉淀(PAC+PAM)去除SS
蚀刻废水采用两级钙盐沉淀法除氟
酸碱废水调节pH至6-
核心处理单元
:
水解酸化池(HRT=8h)提高可生化性
两级接触氧化池(DO=2-4mg/L)降解有机物
活性炭过滤器深度处理
污泥处理
:
板框压滤机脱水至含水率60%以下
最终效果
处理后水质稳定达到《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020):
COD<50mg/L
氟化物<8mg/L
SS<20mg/L
年减排重金属约1.2吨,回用率达35%,运行成本降至3.8元/吨水。
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