电子级磷酸废水处理案例｜电子级磷酸废水处理方法

华南某8.5代液晶面板生产线，在生产过程中使用电子级磷酸进行玻璃基板蚀刻，每日产生约200m³高浓度含磷废水。项目要求实现90%回用率，且回用水质需达到超纯水标准（电阻率≥18MΩ·cm）。

废水成分及来源

废水主要分为两类：一是高浓度废酸液（磷酸含量约10-15%），来自蚀刻机定期更换的废液；二是低浓度冲洗废水（磷酸0.5-1.5%）。废水特点：温度较高（40-45℃），含有微量锡、钼等金属杂质，TDS约5000-8000mg/L。

处理工艺流程

创新采用"分类收集+资源回收+膜集成"工艺路线：

废酸回收系统

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减压蒸馏装置回收85%以上磷酸

冷凝水进入后续处理

低浓度废水处理线

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中和反应池（NaOH调节pH至6.5-7.5）

管式微滤膜（去除悬浮物）

反渗透系统（一级RO回收率75%）

电去离子装置（EDI精处理）

浓水处理单元

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化学结晶除磷（形成鸟粪石沉淀）

蒸发器最终减量化

最终效果

项目实现磷酸回收率85%，每日再生电子级磷酸约3.5吨；水回用率实际达到92%，回用水电阻率稳定在18.2MΩ·cm以上。与传统处置方式相比，年节约药剂成本280万元，减少危废产生量6000吨/年。系统自动化程度高，仅需2人轮班值守。