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电子级碳酸酯类废水处理案例|电子级碳酸酯类废水处理方法

某电子化学品企业生产半导体级高纯碳酸丙烯酯(PC),废水具有高盐(TDS>5%)、高COD(15000-18000mg/L)特性,且含氟化物(200-300mg/L),属于难降解废水。

废水成分及来源

主要污染源包括:1)分子筛脱水工序再生废水;2)产品过滤洗涤水;3)真空泵排水。除碳酸酯类有机物外,还含有NaCl、NaF等无机盐,以及微量环状碳酸酯副产物。

处理工艺流程

创新采用"膜分离+蒸发结晶+催化湿式氧化"工艺路线:

多效蒸发器

:三效逆流蒸发浓缩,回收85%水分,TDS浓缩至20%;

纳滤分盐

:NF膜截留二价盐,透过液NaCl纯度>98%;

催化湿式氧化(CWAO)

:反应温度240℃,压力6MPa,Cu-Al2O3催化剂,COD去除率92%;

生物活性炭滤池

:进一步降解残留有机物。

最终效果

出水COD<50mg/L,氟化物<8mg/L,结晶盐达到工业盐标准。系统实现90%水资源回用,危废减量70%,年运行费用节省约280万元。

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