晶圆片加工厂含砷废水处理案例

某晶圆片再加工企业含砷废水处理项目

一、项目背景与相关情况

该企业位于宁夏银川，是一家晶圆片再加工企业，主要处理研磨含砷废水和喷淋液废水，日处理规模为10吨。原水砷含量高达2000至4000毫克每升，属于典型的高毒高浓度含砷废水。砷是一级致癌物，对环境和人体健康危害极大，若未经有效处理直接排放，将对地下水和土壤造成不可逆的污染。企业面临的核心难题是：如何在确保出水砷含量稳定达标的前提下，最大限度降低处置成本，同时避免二次污染。

二、处理工艺流程

本项目采用"预处理+低温蒸发"的两段式工艺路线。

预处理阶段，废水首先进入调节池进行均质均量，随后投加特定化学药剂进行破络处理，将砷从络合态转化为游离态，为后续蒸发浓缩创造条件。经过预处理后，废水中的大部分悬浮物和部分有机物被去除，水质得到初步改善。

核心处理阶段采用威胜达37℃低温蒸发器。该设备通过真空减压技术，将废水沸点降至30至40℃，在低温环境下实现废水的蒸发浓缩。相比传统蒸发技术需要80℃以上高温，能耗降低80%以上。蒸发产生的冷凝水经过检测达标后回用或排放，浓缩后的废液则进入离心分离系统，得到含砷固废，交由专业单位处置。

三、核心设备优势说明

低温蒸发器是本项目最大的技术亮点。其具备五大核心优势：第一，高效节能，通过真空减压将沸点降至30至40℃，能耗较传统工艺降低80%以上；第二，处理效果稳定，对重金属尤其是砷的去除率极高，出水砷含量稳定低于0.1毫克每升；第三，操作维护简便，自动化程度高，无需专人值守，设备不易结垢堵塞，维护周期长；第四，安全环保，低温运行避免了高温爆炸风险，减少了有害气体挥发，全封闭系统无二次废气产生；第五，适应性强，撬装式模块化设计，占地面积小，便于扩容和移动。

四、处理效果与企业效益

经处理后，出水砷含量稳定低于0.02毫克每升，远低于国家排放标准，危废减量85%以上。年节省处置成本约315万元，相比委外处理方式，经济效益极为可观。设备运行稳定，几乎无需人工干预，企业从繁重的废水处理负担中解脱出来，可以将更多精力投入到核心生产业务中。该案例充分证明，针对高浓度含砷废水，低温蒸发技术是兼顾达标排放与经济效益的最优选择，为同类企业提供了可复制的解决方案。