电子元件生产废气怎么处理方法|玮霖环保电子厂废气处理案例

电子元件生产废气处理案例​

案例一：大型集成电路制造企业废气处理项目​

项目背景​

某大型集成电路制造企业位于高新技术产业园区，随着生产规模的持续扩张以及周边居民住宅的逐步兴建，其生产过程中排放的废气对周边环境和居民生活的潜在影响引发了广泛关注。当地环保部门对该区域的挥发性有机物（VOCs）、酸性气体等污染物排放制定了极为严格的管控标准。企业为了满足日益严苛的环保要求，同时维护良好的企业形象，决定投入大量资金对废气处理系统进行全面升级改造。​

项目废气成份来源​

1. 光刻工序：在光刻过程中，光刻胶中的有机溶剂（如丙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇乙醚醋酸酯等）会大量挥发，产生高浓度的 VOCs。这些有机溶剂不仅具有较强的挥发性，还可能对人体神经系统和呼吸系统造成损害。​

2. 蚀刻工序：蚀刻过程使用氢氟酸、盐酸、硝酸等强酸溶液，会产生相应的酸性废气，如氟化氢（HF）、氯化氢（HCl）、氮氧化物（NOx）等。这些酸性气体具有强烈的腐蚀性，会对设备、建筑物造成腐蚀，同时危害人体健康，形成酸雨等环境问题。​

3. 清洗工序：清洗电子元件时，常用到乙醇、丙酮等有机溶剂，这些溶剂在使用过程中会挥发进入大气，增加了废气中 VOCs 的含量。​

处理工艺流程​

1. 废气收集：在光刻、蚀刻、清洗等各个工序的设备上方安装高效集气罩，采用管道将废气集中收集。根据不同工序废气产生量和特性，合理设计管道直径和风速，确保废气收集率达到 98% 以上，避免废气泄漏。​

2. 预处理：废气首先进入水洗塔，通过喷淋循环水，去除废气中的大部分粉尘和部分水溶性污染物，如氯化氢等。同时，水洗过程对废气起到降温作用，为后续处理创造适宜条件。​

3. 酸性气体处理：经过水洗的废气进入碱液喷淋塔，塔内喷淋氢氧化钠（NaOH）溶液，与废气中的酸性气体发生中和反应，将氟化氢、氮氧化物等酸性气体转化为无害的盐类和水。碱液喷淋塔设置多层喷淋装置和高效除雾器，保证酸性气体去除效率达到 99% 以上，同时防止碱液雾滴带出。​

4. VOCs 处理：处理酸性气体后的废气进入活性炭吸附浓缩 - 催化燃烧装置。首先，废气通过活性炭吸附床，活性炭吸附废气中的 VOCs，当吸附床接近饱和时，切换至另一组吸附床继续吸附。对饱和的吸附床采用热空气脱附，将吸附的 VOCs 解吸出来，形成高浓度的 VOCs 废气。高浓度 VOCs 废气进入催化燃烧装置，在催化剂（如铂、钯等贵金属催化剂）作用下，于 250 - 350℃的较低温度下发生氧化反应，分解为二氧化碳和水。催化燃烧产生的热量通过换热器回收，用于吸附床脱附过程的热空气加热，降低能耗。​

最终效果​

1. 污染物排放达标：处理后的废气中，氟化氢排放浓度低于 1mg/m³，氯化氢排放浓度低于 10mg/m³，氮氧化物排放浓度低于 50mg/m³，VOCs 排放浓度低于 30mg/m³，各项污染物指标均远远低于当地严格的排放标准，实现了稳定达标排放。​

2. 环境改善显著：周边居民对异味投诉量从每月 15 次以上降至几乎为零，有效改善了产业园区及周边区域的空气质量，维护了良好的生态环境，企业也避免了因环保问题可能面临的停产整顿等风险。​

3. 系统运行稳定且节能：新的废气处理系统经过长期运行监测，设备故障率低。自动化控制系统能够实时监测废气浓度、温度、压力等参数，并自动调整处理工艺，确保系统稳定运行。通过余热回收，每年可节约大量能源，降低企业运行成本。​

案例二：小型电子元件加工厂废气处理项目​

项目背景​

一家小型电子元件加工厂主要从事电阻、电容等简单电子元件的生产，位于工业园区内。虽然工厂规模较小，但随着环保意识的普及和园区环保监管的加强，其废气排放问题也亟待解决。工厂原有的简易废气处理设施效果不佳，难以满足现行环保要求，为了持续经营，决定对废气处理进行升级。​

项目废气成份来源​

1. 焊接工序：在电子元件焊接过程中，使用的焊锡丝中含有助焊剂，助焊剂受热挥发会产生有机废气，主要成分包括松香酸、醇类、醛类等，这些物质具有一定异味，且部分属于 VOCs。​

2. 涂覆工序：为保护电子元件，在其表面进行涂覆操作时，使用的涂料中含有有机溶剂（如甲苯、二甲苯等），涂覆过程中有机溶剂挥发形成废气，甲苯和二甲苯等苯系物对人体具有较大危害，属于重点管控的 VOCs 污染物。​

处理工艺流程​

1. 废气收集：在焊接工位和涂覆设备上方设置局部集气罩，通过通风管道将废气收集至主管道。针对焊接工位分散的特点，采用可移动集气罩，提高收集灵活性，确保废气收集率达到 90% 以上。​

2. 预处理：废气先经过过滤棉过滤，去除废气中的粉尘和较大颗粒杂质，防止后续处理设备堵塞。​

3. VOCs 处理：经过预处理的废气进入 UV 光解 - 活性炭吸附一体机。首先，利用高能紫外线光束照射废气，使废气中的 VOCs 分子化学键断裂，分解为小分子物质，同时产生的臭氧进一步氧化分解污染物。经过 UV 光解处理后的废气再通过活性炭吸附层，活性炭吸附残留的小分子污染物和未分解完全的 VOCs，实现废气深度净化。​

最终效果​

1. 达标排放：处理后的废气中，甲苯排放浓度低于 10mg/m³，二甲苯排放浓度低于 10mg/m³，其他 VOCs 排放浓度低于 50mg/m³，符合工业园区规定的废气排放标准，避免了环保处罚。​

2. 成本效益平衡：对于小型加工厂而言，UV 光解 - 活性炭吸附一体机设备投资相对较小，运行成本较低，在满足环保要求的同时，未对企业资金造成过大压力，实现了环保与经济效益的初步平衡。​

3. 车间环境改善：工厂内部异味明显减轻，改善了工人的工作环境，一定程度上提高了工人的工作积极性和生产效率。