平板显示器废气怎么处理方法｜LCD液晶显示面板厂VOCs废气处理案例

平板显示器制造废气处理客户和案例详情介绍：废气来源、处理工艺流程及具体案例展示

平板显示器制造行业作为现代电子产业的重要组成部分，其生产过程中产生的废气问题备受关注。这些废气不仅含有多种有害物质，对环境和人体健康构成潜在威胁，还因废气成分复杂、排放量大而难以处理。因此，平板显示器制造废气处理成为了该行业环保工作的重中之重。本文将详细介绍平板显示器制造废气的来源、处理工艺流程，并通过具体案例展示废气处理的实际应用效果。

一、平板显示器制造废气来源

平板显示器制造过程中，废气主要来源于以下几个环节：

阵列生产工序：此工序中湿法刻蚀酸性原料挥发会产生大量酸性废气，主要污染物包括HCl、氟化物等酸雾。此外，准分子激光退火装置定期排放的介质气体也含有酸性成分。

彩膜生产工序：显影过程会产生碱性挥发性物质，主要污染物为NH?等碱性废气。

成盒生产工序：此工序中涉及多种化学品的使用，可能产生混合性废气，包括有机废气、氮氧化物废气等。

有机蒸镀生产工序：此工序中有机原材料的挥发是产生有机废气的主要原因，主要污染物为非甲烷总烃等。

模组工序：虽然模组工序相对较为清洁，但在组装过程中仍可能产生少量废气，如胶水挥发等。

二、平板显示器制造废气处理工艺流程

针对平板显示器制造废气的特点，通常采用以下处理工艺流程：

废气收集：通过设置合理的废气收集系统，如集气罩、管道等，将生产过程中产生的废气有效收集起来，防止无组织排放。

预处理：对收集到的废气进行预处理，如除尘、除雾等，去除废气中的颗粒物和水分，为后续处理打下基础。

主要处理：根据废气的成分和特性，选择合适的处理工艺进行净化处理。常见的处理工艺包括：

化学洗涤：利用酸碱中和原理，通过洗涤塔等设备对废气中的酸碱成分进行净化处理。洗涤液可根据废气成分选择适当的酸碱溶液。

吸附：利用活性炭等吸附剂对废气中的有机成分进行吸附处理。适用于大风量、低浓度的有机废气。

催化燃烧：在催化剂的作用下，将废气中的有机成分进行氧化分解，转化为无害物质。适用于处理高浓度、小风量的有机废气。

UV光解：利用高能UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，进而产生臭氧，臭氧对有机废气进行协同光解氧化作用，使其降解转化成低分子化合物、CO2和H2O。

达标排放：经过处理后的废气需达到国家或地方规定的排放标准，方可通过烟囱等设施排放至大气中。

三、平板显示器制造废气处理具体案例展示

案例一：某知名平板显示器制造企业废气处理项目

项目背景：该企业生产过程中产生了大量的酸性废气、碱性废气和有机废气，对周边环境造成了严重影响。为了改善环境质量，企业决定实施废气处理工程。

处理方案：

• 酸性废气处理：采用氢氧化钠湿式填料洗涤塔进行酸碱中和净化处理。洗涤液选择浓度为4%的氢氧化钠溶液，废气经洗涤塔处理后达到国家排放标准。
• 碱性废气处理：使用硫酸湿式填料洗涤塔进行酸碱中和净化处理。洗涤液选择浓度为4%的硫酸溶液，处理后废气同样达到排放标准。
• 有机废气处理：针对有机废气，该企业采用了活性炭吸附法进行处理。通过活性炭吸附装置对废气中的有机成分进行吸附净化，净化后的废气达到排放标准后排放。

处理效果：经过上述处理方案的实施，该企业成功解决了平板显示器制造过程中产生的废气污染问题，达到了环保要求，提升了企业的环保形象。

案例二：某平板显示器制造厂PECVD废气处理项目

项目背景：PECVD（等离子增强化学气相沉积）是平板显示器制造过程中的重要环节，但此过程中会产生大量有毒有害的废气，如SiH4、PH3、H2、NF3等。这些废气若未经处理直接排放，将对环境和人体健康造成极大危害。

处理方案：

• 第一阶段处理：在PECVD机台附近设置POU（Point of Use，即使用点处理装置），采用催化氧化式或燃烧水洗式等方法对SiH4、PH3、H2、NF3等剧毒或易燃易爆气体进行预处理。
• 第二阶段处理：经过第一阶段处理后的废气进入除尘装置，如弹匣式除尘器，去除废气中的SiO2等粉尘。
• 第三阶段处理：除尘后的废气进入洗涤塔进行进一步处理。洗涤塔内添加H2SO4、NaClO2、NaHS、NaOH等药剂，通过酸碱中和、氧化还原等反应去除废气中的剩余污染物。

处理效果：经过上述三阶段处理，PECVD废气中的有毒有害物质得到了有效去除，达到了国家排放标准。该项目的成功实施不仅解决了企业的废气污染问题，还提升了企业的环保水平。

结语

平板显示器制造废气处理是企业环保工作的重要组成部分。通过合理的废气收集系统、科学的废气处理工艺流程以及有效的废气处理措施，可以显著降低废气排放对环境和人类健康的影响。同时，加强环保法规的宣传和执行力度，提高企业的环保意识和责任感，也是实现平板显示器制造行业可持续发展的重要保障。未来，随着环保技术的不断进步和环保政策的日益严格，平板显示器制造废气处理将面临更高的挑战和要求。因此，相关企业和机构应积极采用先进的废气处理技术和管理措施，共同推动平板显示器制造行业的绿色发展。