半导体芯片VOCs废气处理案例｜电子半导体集成电路芯片废气怎么处理方法

半导体芯片废气处理：客户案例、废气来源、处理工艺流程及具体展示

半导体芯片废气处理客户与案例详情

随着半导体行业的快速发展，芯片制造过程中产生的废气处理问题日益受到关注。这些废气中含有挥发性有机物（VOCs）、酸性气体、碱性气体、颗粒物等多种污染物，若未经妥善处理直接排放，将对环境和人类健康造成严重影响。因此，半导体芯片生产企业纷纷寻求高效、环保的废气处理解决方案。本文将详细介绍半导体芯片废气处理的客户案例、废气来源、处理工艺流程及具体展示。

客户案例一：某知名半导体芯片制造企业

该企业在生产过程中，废气排放一直是一个难题。为了积极响应国家环保政策，同时提升企业的环保形象和市场竞争力，该企业决定引入先进的废气处理系统。经过多方考察和比较，他们选择了一套基于沸石转轮吸附浓缩与催化燃烧相结合的废气处理方案。该方案实施后，企业废气排放浓度大幅降低，不仅达到了国家和地方环保标准，还有效改善了生产环境。

客户案例二：某半导体芯片封装测试企业

这家企业专注于半导体芯片的封装测试，但在生产过程中也遇到了废气排放问题。为了确保产品的环保性和市场竞争力，该企业积极寻求专业的废气处理解决方案。最终，他们选择了一套适合其生产特点的废气处理设备，该设备采用了多级化学吸收塔结合活性炭吸附装置的处理工艺，有效去除了废气中的有害物质。

半导体芯片废气来源

半导体芯片废气主要来源于生产过程中的多个环节，包括但不限于以下几个方面：

1. 光刻工艺：光刻胶在曝光、显影等过程中会挥发有机溶剂，如异丙醇（IPA）、醋酸乙酯等，这些有机溶剂挥发后形成废气。
2. 刻蚀工艺：刻蚀过程中使用的刻蚀剂中含有酸性或碱性成分，在刻蚀反应时会产生相应的酸性或碱性废气，如氟化物、氯化氢、氨气等。
3. 清洗工艺：清洗过程中使用的清洗剂中含有多种化学物质，这些化学物质挥发后也会形成废气。
4. 掺杂与扩散工艺：在掺杂与扩散过程中，使用的掺杂源和扩散源可能含有挥发性有机物或有毒气体，这些气体在工艺过程中会挥发出来形成废气。

半导体芯片废气处理工艺流程

针对半导体芯片废气的特点，处理工艺流程通常包括以下几个步骤：

废气收集：

2. 1. 在半导体芯片生产线的各个废气产生点设置集气罩或管道，通过通风系统将废气统一收集至废气处理系统。
3.  

预处理：

4. 1. 对收集到的废气进行初步处理，去除其中的大颗粒物、水分等杂质，为后续处理设备提供较好的工作条件。预处理可以采用旋风除尘器、湿式洗涤塔等设备。
5.  

核心处理：

6. 1. 根据废气成分选择合适的处理工艺。对于含有VOCs的废气，可以采用沸石转轮吸附浓缩与催化燃烧相结合的处理工艺；对于含有酸性或碱性气体的废气，可以采用化学吸收塔进行处理；对于含有颗粒物的废气，可以采用布袋除尘器或静电除尘器进行处理。
7.  

深度处理与达标排放：

8. 1. 经过核心处理后的废气可能仍含有微量污染物，需要进一步净化。可以采用活性炭吸附、等离子体处理、高级氧化等技术进行深度处理。处理后的废气通过排气筒排放，并通过在线监测设备进行检测，确保排放符合国家或地方规定的排放标准。

半导体芯片废气处理具体案例展示

案例展示一：某知名半导体芯片制造企业沸石转轮吸附浓缩与催化燃烧处理方案

该企业针对生产过程中产生的VOCs废气，采用了沸石转轮吸附浓缩与催化燃烧相结合的处理方案。废气首先通过预处理设备去除大颗粒物和水分，然后进入沸石转轮吸附装置进行吸附浓缩。沸石转轮具有高效吸附和浓缩VOCs的能力，可以将低浓度的VOCs废气浓缩成高浓度的废气。随后，浓缩后的废气进入催化燃烧装置进行燃烧处理，在催化剂的作用下，VOCs在较低的温度下即可完全氧化分解为二氧化碳和水。该处理方案不仅有效去除了废气中的VOCs，还降低了能耗和运行成本。

案例展示二：某半导体芯片封装测试企业多级化学吸收塔结合活性炭吸附处理方案

该企业在生产过程中产生的废气含有多种酸性、碱性气体和VOCs。为了有效去除这些污染物，他们选择了一套多级化学吸收塔结合活性炭吸附装置的处理方案。废气首先进入一级化学吸收塔，利用碱性溶液对酸性气体进行中和吸收；然后进入二级化学吸收塔，利用酸性溶液对碱性气体进行中和吸收。经过多级吸收塔处理后的废气中，大部分有害物质已被去除，但仍含有微量VOCs。因此，废气随后进入活性炭吸附装置进行深度处理，进一步去除残留的VOCs。经过处理后的废气排放浓度远低于国家和地方规定的排放标准。

通过以上案例展示可以看出，半导体芯片废气处理需要综合考虑废气成分、处理效果、运行成本及环保要求等因素。选择合适的处理工艺和设备对于确保废气达标排放、提升企业形象和竞争力具有重要意义。