高浓度VOCs废气处理工艺|高浓度VOCs废气怎么处理

案例一：半导体芯片制造厂有机废气处理

项目背景
半导体制造过程中，光刻、蚀刻、清洗等环节产生高浓度含有机溶剂（如异丙醇、醋酸乙酯、丙酮等）的废气，具有低风量、高浓度的特点，需高效处理以符合环保要求。

废气成分来源

• 主要污染物：异丙醇（IPA）、醋酸乙酯、丙酮等挥发性有机物（VOCs）。
• 来源：光刻、蚀刻、清洗等工艺环节。

处理工艺流程

1. 预处理：高效过滤器去除废气中的颗粒物和水分，防止堵塞后续设备。
2. 冷凝回收：采用深冷或压缩制冷技术，将废气中的部分有机溶剂冷凝回收，降低VOCs浓度。
3. 活性炭吸附：剩余低浓度废气通过活性炭吸附塔，利用活性炭的吸附性能捕获并存储VOCs。
4. 热再生：活性炭吸附饱和后，利用热空气或蒸汽进行再生，解吸出的高浓度有机废气进行燃烧或催化燃烧处理。

最终效果

• 处理效率：VOCs浓度大幅降低，实现达标排放。
• 经济效益：活性炭再生循环利用，降低运营成本。

案例二：涂装车间高浓度VOCs治理

项目背景
涂装作业过程中产生含苯、甲苯、二甲苯等有害VOCs的废气，具有间歇性排放、风量大、浓度波动大的特点，需高效处理以改善环境及降低安全隐患。

废气成分来源

• 主要污染物：苯、甲苯、二甲苯等VOCs。
• 来源：喷漆室、流平室、烘干炉。

处理工艺流程

1. 全面收集：通过抽风系统将喷涂区域的有机废气全部收集起来。
2. 预处理：废气通过干式过滤器除掉漆雾颗粒。
3. 沸石转轮吸附：利用沸石转轮的大比表面积，对低浓度废气进行连续吸附。待转轮旋转至脱附区时，用小股热气流进行脱附，使VOCs浓缩成高浓度气体。
4. RTO焚烧：浓缩后的有机废气进入蓄热式热力氧化装置（RTO），在高温下进行充分燃烧，转化为无害的二氧化碳和水。

最终效果

• 处理效率：VOCs去除率≥98%，排放浓度≤20 mg/m³。
• 经济效益：年运行成本节约约600万元，能耗降低40%。

案例三：化工厂合成车间废气处理

项目背景
化工厂在合成反应过程中产生含苯、醇、酮、醛等高浓度有机废气，成分复杂且持续排放，需通过工艺改造实现达标排放。

废气成分来源

• 主要污染物：苯、醇、酮、醛等VOCs。
• 来源：合成反应、溶剂挥发等工艺环节。

处理工艺流程

1. 湿法洗涤：采用碱液或酸液喷淋塔对废气进行初步处理，去除酸碱性气体和部分有机物。
2. 生物过滤器：对于生物降解性较好的有机废气，通过生物过滤器，让微生物在过滤介质上生长繁殖，将有机物降解为二氧化碳和水。
3. 催化燃烧：对于无法生物降解或生物降解效率较低的有机废气，进一步送入催化燃烧炉，在贵金属催化剂作用下，废气在较低温度下氧化分解为无害物质。

最终效果

• 处理效率：废气排放浓度显著降低，达到国家排放标准。
• 环境效益：实现环保合规，改善周边环境质量。

总结

上述案例通过“预处理-核心处理-排放监测”全流程，结合冷凝回收、活性炭吸附、沸石转轮、RTO和催化燃烧等技术，实现高浓度有机废气的高效治理。企业可根据行业特点、废气成分及环保要求，选择适配工艺，平衡经济与环保效益。