电子厂电子元器件废气怎么处理|电子厂电子元器件废气如何处理

电子厂电子元器件废气介绍

电子厂电子元器件废气主要指在电子元器件生产过程中产生的含挥发性有机物（VOCs）、颗粒物及有害气体的排放。这类废气具有成分复杂、毒性高、刺激性强等特点，若未经有效处理，会对环境及人体健康造成显著危害。

电子厂电子元器件废气来源

1. 表面涂装与清洗：
   电子元器件生产过程中，电路板、芯片等产品的表面涂层（如溶剂型涂料）及清洗环节（如使用有机溶剂）是废气的主要来源。

2. 刻蚀、显影工序：
   半导体制造中，刻蚀液挥发、显影液残留物蒸发会产生氟化物、氯化物等无机废气，以及光刻胶分解产生的VOCs。

3. 焊接与封装：
   焊接过程中助焊剂挥发（如松香、酒精）、封装材料热分解产生甲苯、丙酮等有机气体。

4. 原料储存与运输：
   有机溶剂（如乙醇、异丙醇）在储存和输送中的无组织挥发。

电子厂电子元器件废气成分

电子厂废气中的主要污染物包括：

1. VOCs（挥发性有机物）：

   • 常见成分：甲苯、二甲苯、异丙醇、丁酮、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮等。
   • 来源：有机溶剂使用、涂料挥发、清洗工序等。

2. 无机气体：

   • SO₂、NOₓ（来自锅炉或化学反应）；
   • 氯化氢（HCl）、氟化物（来自刻蚀工艺）。

3. 颗粒物：

   • 粉尘、烟雾（如金属氧化物、碳颗粒）。

电子厂电子元器件废气处理案例

案例1：苏州某电子元件厂活性炭吸附+催化燃烧工艺

客户背景：

• 企业类型：电子元器件制造商，主营电感器、电容器生产。
• 废气特点：
  • 废气量：50,000 m³/h；
  • 主要成分：甲苯、二甲苯、异丙醇、丁酮等VOCs，浓度约300–800 mg/m³；
  • 排放波动大，需兼顾处理效率与成本。

处理工艺：

1. 预处理：通过“旋风除尘+冷却塔”去除颗粒物并降温，防止后续设备堵塞6。
2. 活性炭吸附脱附：
   • 采用蜂窝状活性炭吸附VOCs，吸附饱和后通过热空气脱附，浓缩废气至浓度≥2000 mg/m³。
3. 催化燃烧（RCO）：
   • 脱附废气进入催化燃烧装置，在催化剂（铂钴合金）作用下，280–320℃氧化分解为CO₂和H₂O，净化效率≥95%。

处理效果：

• VOCs去除率＞98%，出口浓度＜20 mg/m³，达到《电子信息制造业大气污染物排放标准》（DB 44/1852-2021）；
• 年节约燃料成本约120万元（回收热能用于生产热水）。

亮点：

• 组合工艺适应中低浓度、大风量废气，运行成本低于单一焚烧技术；
• 催化燃烧余热回用，实现能源循环69。

案例2：上海某半导体厂沸石转轮+RTO工艺

客户背景：

• 企业类型：半导体芯片制造商，涉及光刻、刻蚀工序。
• 废气特点：
  • 废气量：30,000 m³/h；
  • 成分复杂：含甲苯、丙酮、氯化氢、氟化物等，VOCs浓度约500–1500 mg/m³；
  • 需处理无机酸雾与VOCs混合废气。

处理工艺：

1. 预处理：
   • 碱液喷淋塔去除氯化氢、氟化物等酸性气体，避免腐蚀后续设备。
2. 沸石转轮浓缩：
   • 废气通过沸石转轮吸附区，VOCs被吸附并浓缩10倍以上，浓缩后浓度达5000–10,000 mg/m³。
3. 蓄热式焚烧炉（RTO）：
   • 浓缩废气送入RTO，在800–900℃下焚烧，热效率＞95%，VOCs去除率≥99%。

处理效果：

• VOCs出口浓度＜10 mg/m³，酸雾去除率＞99.5%，满足《半导体行业污染物排放标准》；
• RTO余热用于厂区供暖，年减少天然气消耗约300万立方米。

亮点：

• 沸石转轮+RTO组合适用于高浓度、多组分废气，处理效率高；
• 预处理解决酸雾问题，延长设备寿命。

技术总结与建议

1. 工艺选择原则：

   • 低浓度大风量：活性炭吸附+催化燃烧（RCO）；
   • 高浓度复杂成分：沸石转轮+RTO或转轮+催化燃烧；
   • 含酸废气：需增加碱液喷淋预处理2。

2. 经济性考量：

   • 催化燃烧（RCO）投资适中，适合中小型企业；
   • RTO运行成本较低，但初期投资高，适合大型企业。

3. 未来趋势：

   • 电子厂更倾向于“资源回收+减排”模式，如冷凝回收溶剂、余热利用等。

通过上述案例可见，电子厂废气处理需结合排放特点、成本及环保要求，选择高效组合工艺，实现达标排放与可持续发展。